螺桿真空泵是利用一對(duì)螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備,它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品,能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合,在國(guó)內(nèi)制藥、化工、半導(dǎo)體等對(duì)清潔真空要求較高的企業(yè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
其工作原理:
螺桿真空泵的工作過(guò)程可分為三個(gè)過(guò)程:吸氣,壓縮和排氣。 當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí),彼此嚙合的每一對(duì)齒又一次完成相同的工作循環(huán)。 現(xiàn)在,一對(duì)牙齒用于說(shuō)明。
吸入過(guò)程
陽(yáng)轉(zhuǎn)子逆時(shí)針旋轉(zhuǎn),而內(nèi)螺紋順時(shí)針旋轉(zhuǎn)。 圖中轉(zhuǎn)子的上端是吸氣段,下端是排氣端。
壓縮過(guò)程
端面是排氣端面。 在此,陽(yáng)轉(zhuǎn)子順時(shí)針旋轉(zhuǎn),陰轉(zhuǎn)子逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)。 圖中轉(zhuǎn)子的上端是吸氣段,下端是排氣端。
排氣過(guò)程
在螺桿泵的排氣過(guò)程中,在齒之間的容積連接到排氣口之后開(kāi)始排氣過(guò)程。 隨著齒間容積的不斷減小,具有排氣壓力的氣體逐漸通過(guò)排氣口排出。
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